微镜机械结构
定制孔径、结构几何与共振机械设计。
面向高价值光学系统的聚焦平台
页面只突出与客户决策真正相关的内容：微镜架构、驱动、光学质量、应用、技术证据和定制项目路线。
压电驱动
面向紧凑光学子系统的低电压薄膜压电驱动。
光学质量
围绕有效镜面平整度、镀膜接口和可控形变进行工程设计。
晶圆级路线
从器件概念和工程样品逐步推进到可重复晶圆级制造。
以真实器件为核心的工程证据
微镜页面不使用第三方设备或基础设施图片，而是聚焦真实器件、技术论文和商业开发路线。
目标应用
AR / XR
面向下一代显示与传感架构的紧凑光学扫描。
LiDAR
面向测距与感知系统的快速光束偏转。
Pico Projection
面向紧凑投影系统的微型扫描引擎。
先进仪器
面向科研和工业光学系统的定制 beam-control 器件。
IEEE MEMS 2023 代表性论文
Arbitrary Shaped Backside Reinforcement for Two Dimensional Resonant Micromirrors
IEEE MEMS · 2023 · Conference Paper
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Arbitrary Shaped Backside Reinforcement for Two Dimensional Resonant Micromirrors
IEEE MEMS · 2023 · Conference Paper
Authors
Takashi Sasaki; Adrien Piot; Anton Lagosh; Clement Fleury; Markus Bainschab; Yanfen Zhai; Marcus Baumgart; Sara Guerreiro; Dominik Holzmann; Aleš Travnik; Mohssen Moridi
Open on IEEE Xplore →Piezoelectrically Actuated Micromirror with Dynamic Deformation Compensation Mechanism
IEEE MEMS · 2023 · Conference Paper
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Piezoelectrically Actuated Micromirror with Dynamic Deformation Compensation Mechanism
IEEE MEMS · 2023 · Conference Paper
Authors
Takashi Sasaki; Adrien Piot; Jaka Pribošek; Anton Lagosh; Clement Fleury; Markus Bainschab; Yanfen Zhai; Marcus Baumgart; Sara Guerreiro; Dominik Holzmann; Aleš Travnik; Mohssen Moridi
Open on IEEE Xplore →商业开发路线
需求定义
明确波长、扫描功能、孔径、驱动限制和封装边界。
架构设计
将微镜机械结构、驱动方案和器件几何与系统目标对齐。
工程开发
把概念转化为器件版图和可制造工艺路线。
样品迭代
评估工程样品并围绕应用性能继续优化。
规模化
根据供货模式规划试产与专用晶圆制造。