Spiegelmechanik
Kundenspezifische Apertur, Strukturgeometrie und resonantes mechanisches Design.
Piezoelektrische MEMS-Mikrospiegel
Premium-Sonderplattform für schnelle resonante Strahlablenkung, optisches Scannen und kompakte piezoelektrische Niederspannungsansteuerung — mit Fokus auf Device Engineering und fertigbare Wafer-Prozesse.
Fokussierte Plattform für hochwertige optische Systeme
Die Seite konzentriert sich auf das Bauelement: Spiegelarchitektur, Ansteuerung, optische Qualität, Anwendungen, technische Evidenz und den Weg zu einem kundenspezifischen Programm.
Piezoelektrische Ansteuerung
Niederspannungs-Dünnschicht-Piezoantrieb für kompakte optische Subsysteme.
Optische Qualität
Engineering für nutzbare Spiegelplanheit, Beschichtungsschnittstellen und kontrollierte Verformung.
Wafer-Level-Pfad
Entwicklungsweg vom Bauelementkonzept und Samples bis zur reproduzierbaren Wafer-Level-Fertigung.
Device-basierte Engineering-Evidenz
Die Mikrospiegel-Seite verzichtet auf fremde Facility-Bilder und fokussiert auf das reale Device, technische Publikationen und den kommerziellen Entwicklungsweg.
Zielanwendungen
AR / XR
Kompaktes optisches Scannen für Display- und Sensorkonzepte.
LiDAR
Schnelle Strahlablenkung für Ranging- und Perception-Systeme.
Pico-Projektion
Miniaturisierte Scanning-Engines und kompakte Projektionskonzepte.
Advanced Instrumentation
Kundenspezifische Beam-Control-Bauelemente für wissenschaftliche und industrielle Optik.
Ausgewählte IEEE-MEMS-2023-Publikationen
Arbitrary Shaped Backside Reinforcement for Two Dimensional Resonant Micromirrors
IEEE MEMS · 2023 · Conference Paper
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Arbitrary Shaped Backside Reinforcement for Two Dimensional Resonant Micromirrors
IEEE MEMS · 2023 · Conference Paper
Authors
Takashi Sasaki; Adrien Piot; Anton Lagosh; Clement Fleury; Markus Bainschab; Yanfen Zhai; Marcus Baumgart; Sara Guerreiro; Dominik Holzmann; Aleš Travnik; Mohssen Moridi
Open on IEEE Xplore →Piezoelectrically Actuated Micromirror with Dynamic Deformation Compensation Mechanism
IEEE MEMS · 2023 · Conference Paper
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Piezoelectrically Actuated Micromirror with Dynamic Deformation Compensation Mechanism
IEEE MEMS · 2023 · Conference Paper
Authors
Takashi Sasaki; Adrien Piot; Jaka Pribošek; Anton Lagosh; Clement Fleury; Markus Bainschab; Yanfen Zhai; Marcus Baumgart; Sara Guerreiro; Dominik Holzmann; Aleš Travnik; Mohssen Moridi
Open on IEEE Xplore →Kommerzieller Entwicklungsweg
Anforderungen
Wellenlänge, Scan-Funktion, Apertur, Ansteuerungsgrenzen und Packaging-Randbedingungen definieren.
Architektur
Spiegelmechanik, Aktuatorkonzept und Device-Geometrie auf das Systemziel abstimmen.
Engineering
Konzept in Layout und fertigbare Prozessroute überführen.
Prototyp
Engineering-Samples bewerten und auf Anwendungsperformance hin iterieren.
Scale-up
Pilot- und dedizierte Wafer-Fertigung für das gewünschte Liefermodell planen.
Kontakt
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