Unser Lieferumfang
- Single-axis and two-axis mirror chips
- Custom mirror apertures and suspension designs
- Wafer-level devices and diced chips
- Electrical test structures
- Engineering samples and dedicated wafer runs
- Project-specific scale-up
Engineering samples · Joint development · 200 mm scale-up
Piezoelektrische MEMS-Mikrospiegel
Custom thin-film piezoelectric MEMS micromirrors for AR/XR, LiDAR, projection, optical sensing and precision beam steering.
Schnelle und präzise optische Ablenkung mit piezoelektrischem Niederspannungsantrieb.
Low-voltage actuation
Wide optical scan-angle designs
Low-power device architectures
200 mm manufacturing route
Konfigurierbare Parameter
- Mirror aperture
- Mechanical scan angle
- Resonant or quasi-static operation
- Drive-voltage target
- Optical flatness requirements
- Packaging and system interface
Anwendungsbereiche
- AR/XR displays
- Solid-state LiDAR
- Pico-projection
- Optical switching
- Spectroscopy
- Industrial optical systems
Fertigungsweg
1
Engineering-Samples
2
Pilotproduktion
3
Serienproduktion
Reale Fertigung & Charakterisierung
Ausgewählte 25FAB- und projektbezogene Fertigungsbilder mit stärkerer kommerzieller Präsentation.
Kontakt
Piezoelektrische MEMS-Mikrospiegel