デバイス要件を定義
- 機能と用途
- 帯域・周波数・波長
- 優先性能
- 寸法とウェハ形式
- インターフェースと実装
- 数量とスケジュール
AI協調設計 · サンプル · 量産化
圧電MEMSマイクロミラー
LiDAR、投影、分光、光スイッチ、量子システム向け1D/2Dミラー／アレイ。
低電圧で高速・高精度な光走査。
1D / 2D
低電圧
周波数・角度を最適化
ウェハ製造
集積対応
- 多材料モノリシック集積
- ヘテロジニアス／バックエンド集積
- 圧電・フォトニック材料
- III–V・ワイドバンドギャップ半導体
- DFM・テスト互換性
- 試作からウェハレベル量産
製造ルート
1
サンプル
2
パイロット
3
量産
製造・評価
ウェハ、デバイス、微細構造の代表画像。
