交付内容
- 超表面与超透镜器件结构
- 设计验证测试结构与工程器件
- 切割器件与工程晶圆
- 与PMUT、MEMS和PIC平台集成
- 纳米结构工艺开发
- 定制表征结构
定制光学设计 · 纳米制造 · 晶圆级集成
超表面与超透镜平台
面向光束整形、聚焦、结构光、3D成像、传感，以及与光子/MEMS器件异质集成的定制超表面与超透镜平台。
面向光束整形、聚焦、传感与3D成像的定制超表面、超透镜和平面光学器件。
亚波长纳米结构
超透镜与平面光学架构
3D成像与结构光集成
从定制工程到晶圆级器件
可配置参数
- 目标波长 / 波段
- 孔径、焦距与数值孔径
- 相位 / 振幅 / 偏振功能
- 材料与衬底平台
- 纳米结构关键尺寸
- 芯片、晶圆与批量需求
应用领域
- 3D成像
- 平面光学与聚焦
- 光束整形与结构光
- 光声 / 超声集成
- 光学传感
- 量子与先进光子学
制造路线
1
工程样品
2
试产
3
量产
真实制造与表征
精选25FAB及项目相关的真实制造与表征图片，以更适合客户理解和判断的方式呈现。
代表性文章
与该平台相关的代表性文章。
Inverse design of plasmonic metasurfaces by the convolutional neural network
Inverse design of plasmonic metasurfaces by the convolutional neural network
- 作者
- R. Lin, Y. Zhai, C. Xiong, X. Li
- 期刊 / 会议
- Optics Letters
- 年份
- 2020
- 类型
- Journal article
On-chip integrated lateral and vertical tunable metasurfaces for 3D imaging
On-chip integrated lateral and vertical tunable metasurfaces for 3D imaging
- 作者
- Yanfen Zhai, Takashi Sasaki, Mohssen Moridi, Ronghui Lin, Zahrah Alnakhli, Lixiang Wu, Atif Shamim, Xiaohang Li, Mohammad Younis, Kazuhiro Hane
- 期刊 / 会议
- 48th International Conference on Micro and Nano Engineering - Eurosensors (MNE-ES)
- 年份
- 2022
- 类型
- Oral presentation
On-chip photoacoustic transducer based on monolithic integration of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers and metasurface lenses
On-chip photoacoustic transducer based on monolithic integration of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers and metasurface lenses
- 作者
- Yanfen Zhai, Lixiang Wu
- 期刊 / 会议
- SPIE
- 年份
- 2023
- 类型
- Oral presentation